《纳米技术与精密工程》旨在展示国内外纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量等方面具有创新性的科学研究进展，刊登该领域重要科学研究论文、研究报告等学术文献，促进相关领域的学术交流和科技发展。作为纳米技术与精密工程领域的专业性学术期刊，本刊是中国微米纳米技术学会会刊，读者对象为国内外理工科高等院校相关专业师生、科研单位与生产部门的研究人员及工程技术人员。《纳米技术与精密工程》被荷兰Scopus数据库、《中文核心期刊要目总览》（北大核心）收录，是中国科技论文统计源期刊（中国科技期刊引证报告核心版）、中国科学引文数据库来源期刊（CSCD扩展版）。
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